產(chǎn)品分類
輪廓/膜厚測量
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白光干涉垂直掃描和移相干涉測量法,0.1nm臺階,采用TotalFocus 技術(shù),全視場真彩色圖像。
多模組三維光學(xué)輪廓儀標配ZDot白光共聚焦逐層成像,可選裝多模式光學(xué)系統(tǒng)。
探針式輪廓儀(臺階儀)源自AFM的光學(xué)杠桿技術(shù),精確測量臺階高度及表面輪廓。
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