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簡(jiǎn)要描述：多模組三維光學(xué)輪廓儀標(biāo)配ZDot白光共聚焦逐層成像，可選裝多模式光學(xué)系統(tǒng)。
產(chǎn)品型號(hào)：Zeta-20產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 50萬-100萬 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 | ZSI模式分辨率： | 0.5? |
| 最小臺(tái)階： | 0.1nm |
多模組三維光學(xué)輪廓儀Zeta-20標(biāo)配ZDot技術(shù)，可選裝多模式光學(xué)系統(tǒng)。強(qiáng)大的成像測(cè)量功能，使其能夠?qū)Ω鞣N樣品進(jìn)行測(cè)量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理等。
1.納米及微米級(jí)臺(tái)階測(cè)量
2.粗糙度分析
3.薄膜厚度測(cè)量
4.三維輪廓測(cè)量
5.全表面缺陷測(cè)量及分類
6.特征圖形全自動(dòng)偵測(cè)與表征
7.高深寬比表面輪廓成像
True color（真彩）無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像
多模組三維光學(xué)輪廓儀模式選擇
| 適用范圍 | ZDOT | ZI | ZIC | ZSI | ZFT |
| 粗糙度＞40nm | √ | ||||
| 粗糙度＜40nm | √ | ||||
| 大視場(chǎng)、Z軸高分辨 | √ | ||||
| 15nm～25mm臺(tái)階 | √ | ||||
| 5nm～100μm臺(tái)階 | √ | ||||
| ＜10nm臺(tái)階 | √ | ||||
| 30nm＜膜厚＜75μm | √ | ||||
| 膜厚＞75μm | √ |
基礎(chǔ)模塊
| 橫向準(zhǔn)確度＜1% | 彩色CCD：2/3”，2448×2048 |
| 水平分辨率：54nm | 可測(cè)高度：40mm |
| Z軸分辨率：13nm/2nm | 光源：高亮度LED |
| 自動(dòng)XY載臺(tái)150×150mm | 樣品反射率：0.5%~100 |
測(cè)試系統(tǒng)選項(xiàng)
1.標(biāo)準(zhǔn)物鏡：2.5×，5×，10×，20×，50×，100×，150×
2.特殊物鏡：長工作距離，浸沒物鏡，TTM物鏡
3.ZI、ZIC、ZFT、ZSI（0.5Å分辨率，0.1nm臺(tái)階高度測(cè)試）
載臺(tái)與卡盤選項(xiàng)
1.手動(dòng)100mm×100mm或300mm×300mm載臺(tái)
2.自動(dòng)150mm×150mm或180mmx200mm載臺(tái)
3.壓電陶瓷載臺(tái)（2nm閉環(huán)精度，200µm工作距離）
4.高精度傾斜載臺(tái)
5.手動(dòng)旋轉(zhuǎn)載臺(tái)
6.卡盤：2"-6"、65mm-95mm、背光卡盤等，可定制
產(chǎn)品咨詢
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